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Mots-clés : résine photosensible, collage moléculaire, séchage, gravure acide fluorhydrique, nanofils
Vue de dessus des nombreuses interconnexions au sein d’un transistor au MEB. Source : CEA-LETI.

La chimie est impliquée dans de nombreux domaines de la microélectronique, tels que la synthèse, le traitement et la pureté des matériaux de base, les préparations de surface et la gravure sélective de couches spécifiques à travers de résines photosensibles.

Après un rappel pédagogique du fonctionnement et de l’évolution des transistors, en suivant l’ordre des procédés de fabrication, sont successivement évoquées les différentes configurations de films minces de diélectriques associés à des métaux et combinés à des niveaux de dopage et des traitements thermiques adaptés puis l’élaboration de la grille. Les procédés de métallurgie des contacts ainsi que les procédés d’interconnexion sont passés en revue.

Les multiples facettes des métiers de la chimie pour la microélectronique, divers et passionnants, dans un environnement unique de haute technologie, sont évoquées.

Auteur(s) : Yannick Le Tiec
Source : Colloque 6 novembre 2013, Fondation de la Maison de la chimie
Niveau de lecture : intermédiaire
Nature de la ressource : article